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マスクレス露光装置

デジタルマイクロミラーデバイス(Digital Micromirror Device:DMD)を用いた独自のパターン縮小投影で、世界で初めて最小画素1μmを実現。

スキャンニング方式もシリーズに新たに加わり、処理能力がさらに向上。

レジスト三次元加工が容易に行えるグレースケール露光は市場の新たなニーズに対応。

マスクレス露光装置

検査装置シリーズ

シリコンウェーハやガラス基板などの、
外部欠陥や内部欠陥の検査を、
独自の光学技術と画像処理技術によりご提案





検査装置シリーズ

ウェーハIDリーダー シリーズ

シリコンウェーハ上にレーザ刻印または露光エッチングされた英数文字、バーコード、2次元コードの読み取り用光学系ユニット。

独自設計の専用テレセントリックレンズと照明系が読取りソフトにクリアな画像を提供し、極めて高い認識を実現。

ウェーハIDリーダー シリーズ