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検査装置シリーズ

シリコンウェーハやガラス基板などの、外部欠陥や内部欠陥の検査を、
独自の光学技術と画像処理技術によりご提案

外部欠陥検査

基板検査に必要なキズ、欠け、クラック、パーティクルなどの欠陥検出や、
平坦度の測定など発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案。

外部欠陥事例

内部欠陥検査

基板内部に発生する欠陥を、透過や反射により検出。
発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案。

内部欠陥事例