最先端の研究現場における活用事例

長年に渡り、弊社のマスクレス露光装置を活用して頂き、多くの研究成果を収められております。最先端研究現場におけるマスクレス露光装置の有用性に関し、その中でも、弊社製装置の大きな特徴である、その場観察手法を用いた重ね合わせ露光方法や、グレースケール露光を用いたレジストの立体加工技術について詳しく御紹介頂いております。